
Sikama ofrece sistemas de transporte únicos que pueden manipular fácilmente las obleas alabeadas sin dejar de ofrecer la ventaja de un calentamiento conductivo combinado con un calentamiento convectivo y radiante. Nuestro sistema de transporte LIFT utiliza vigas que levantan las obleas y las transportan de zona a zona con una vibración mínima. Al entrar en cada zona, la oblea se coloca suavemente en la platina de calentamiento o enfriamiento conductivo para lograr una transferencia térmica eficaz.
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Sikama es el líder mundial en el bumping de obleas, capaz de manipular obleas de hasta 650 mm, incluyendo obleas frágiles o alabeadas.