El sistema de revestimiento de fundentes/lavado de obleas en línea Falcon ICS 412 es capaz de dispensar hasta 4 fluidos de proceso (2 estándar, es decir, fundente y lavado de obleas) en obleas de tamaños comprendidos entre 4 y 12 pulgadas (300 mm). No es necesario cambiar de herramienta cuando se pasa de tamaños de oblea de 6" a 12". Con un número ilimitado de pasos de la receta, todos los parámetros del proceso son totalmente programables, incluidos el inicio, el final, el barrido y la altura de la dispensación. El plato giratorio con servomotor es programable con velocidades de 1 a 2000 RPM. El sistema de vacío del plato giratorio incluye un depósito con trampa de fluidos para evitar la contaminación del sistema de vacío. El transporte por correa en línea, totalmente servoaccionado, no requiere ajustes, ni aprendizaje del robot, ni ajustes de los sensores. El modo de diagnóstico del software permite el mantenimiento visual de todas las entradas, salidas, servomotores y codificadores. El modo de ingeniería permite realizar cambios directos e inmediatos en el proceso en tiempo real. La protección por contraseña permite el uso de múltiples niveles por parte del operador.

Los requisitos de las instalaciones del sistema incluyen electricidad, vacío, N2 y agua. Para la configuración de la lavadora se requiere un escape de vacío de gran volumen. Las opciones incluyen la capacidad de lavado de obleas y la posibilidad de procesar hasta 4 fluidos, siendo 2 los estándar.

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