Sikama提供独特的运输系统，可以轻松处理翘曲的晶圆，同时还能提供传导加热与对流和辐射加热相结合的优势。我们的LIFT运输系统利用横梁提升晶圆，以最小的振动将它们从一个区运输到另一个区。在进入每个区域后，晶圆被轻轻地放在导电加热或冷却板上，以实现有效的热传递。