概述
Sikama提供独特的运输系统,可以轻松处理翘曲的晶圆,同时还能提供传导加热与对流和辐射加热相结合的优势。我们的LIFT运输系统利用横梁提升晶圆,以最小的振动将它们从一个区运输到另一个区。在进入每个区域后,晶圆被轻轻地放在导电加热或冷却板上,以实现有效的热传递。
Sikama是全球晶圆凸起的领导者,能够处理高达650毫米的晶圆,包括易碎或扭曲的晶圆。