Sikama bietet einzigartige Transportsysteme, die verzogene Wafer problemlos handhaben können und gleichzeitig den Vorteil der konduktiven Heizung in Kombination mit konvektiver und Strahlungsheizung bieten. Unser LIFT-Transportsystem verwendet Balken, die die Wafer anheben und sie mit minimalen Vibrationen von Zone zu Zone transportieren. Beim Eintritt in jede Zone wird der Wafer sanft auf die konduktive Heiz- oder Kühlplatte gesetzt, um eine effiziente Wärmeübertragung zu gewährleisten.
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