Sikama UP1200烤箱内部有八(8)个工作区:六(6)个加热区和两(2)个冷却区。此外,还有一个装料区和一个卸料区。加热区和冷却区都有顶部和底部的加热/冷却元件。加热区和冷却区的底部元件利用Sikama接触热传递,顶部元件利用组合对流和辐射热传递。装载/卸载区可以在本地模式下运行,也可以通过SMEMA与其他工艺设备的连接整合到一个流动的过程中。该系统可以用氮气或成型气体等覆盖气体进行操作。每个冷却和加热区都有独立的温度控制,允许在回流或固化过程中使用复杂的热曲线。

Sikama UP1200可以使用机器前面的操作面板进行 "独立 "操作,也可以使用运行在MS Windows PC电脑上的Sikama集成控制软件进行控制。计算机通过RS232接口电缆与UP1200连接。

UP1200采用步进梁运输系统或LIFT系统,可容纳翘曲的晶圆和较重的部件。这两种运输系统都是在没有摩擦或振动的情况下将工件从一个区移到另一个区,通过烤箱。每个系统都将工件提升到底部接触加热区以上,并将工件带到下一个加热区。工件不被拖动或推挤,减少了因刮擦或划伤而造成损坏的可能性。

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