Falcon ICS 412在线助焊剂涂层/硅片清洗系统能够在4英寸到12英寸(300mm)的硅片上分配多达4种工艺流体(2种标准--即助焊剂、碗状清洗)。当从6英寸到12英寸的晶圆尺寸变化时,不需要更换工具。由于有无限的配方步骤,所有的工艺参数都是完全可编程的,包括分配的开始、结束、扫描和高度。伺服驱动的旋转卡盘是可编程的,速度从1到2000 RPM。旋转卡盘的真空系统包括一个储液器,以防止真空系统被污染。完全伺服驱动控制的在线皮带运输不需要调整,不需要机器人教学或传感器调整。软件的诊断模式允许对所有输入、输出、伺服电机和编码器进行可视化维护。工程模式允许直接和即时的实时过程变化。密码保护允许多级操作员使用。
系统设施要求包括电、真空、氮气和水。洗涤器的配置需要高容量的真空排气。选项包括晶圆清洗能力和处理多达4种液体的能力,标准是2种。
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更多的灵活性,更少的成本
ICS412在4到12英寸的晶圆上提供多流体加工能力,无限的配方步骤,1到2000转的速度,在一台机器上给用户提供了最大的灵活性。
可选的ESD安全吸盘允许用户处理翘曲的晶圆,允许在任何制造环境中具有广泛的能力。
安装简单,完全自动化
ICS412可直接与Sikama回流焊炉进行通信,轻松实现自动化。此外,该炉具有SMEMA功能,可与现有设备整合。
该产品经过CE认证,符合SEMI安全和人体测量标准。