UP1200は、最高400℃まで対応可能な多目的の連続フロー式リフローソルダーオーブンです。最大300mmウェハーの処理に対応し、すべてのゾーンで5ppm以下のO2レベルのフルチャンバーカバーガス、ほぼ無振動、完全なプロファイルのカスタマイズを必要とするあらゆるアプリケーションに対応できるように設計されています。シカマ独自の接触伝導加熱と熱対流、放射加熱の組み合わせにより、比類のない熱エネルギー伝達を実現し、同等のリフロー炉の中で最も低いエネルギー使用量を達成しています。
オーブン内部に8つのワークゾーン、6つのヒートゾーン、2つのクーリングゾーンを備え、ユーザーは業界最小のフットプリントでプロファイルの完全な制御を実現することができます。SECS/GEMおよびSMEMAのフル機能を提供し、自動生産ラインやSPCデータ取得への容易な統合を可能にします。
UP1200は、ウォーキングビーム搬送、または反りのあるウェーハや重い部品に対応するLIFTシステムのいずれかを搭載しています。どちらの搬送システムも、摩擦や振動なしに、ワークアイテムをオーブン内のゾーンからゾーンへ移動させます。それぞれのシステムは、部品を下部の接触加熱ゾーンの上に持ち上げ、次のゾーンに運びます。ワークが引きずられたり押されたりしないので、擦り傷や振動によるダメージの可能性が低くなります。
これだけのカーボンコンシャスな性能と省スペース性を両立させたオーブンは他にないでしょう。
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