Sikama UP1200オーブンは、6つの加熱ゾーンと2つの冷却ゾーンの合計8つのワークゾーンを内部に備えています。さらに、ロードゾーンとアンロードゾーンがあります。ヒートゾーンとクールゾーンには、上部と下部の両方の加熱/冷却エレメントがあります。加熱・冷却ゾーンでは、底部エレメントにシカマ接触熱伝達を、上部エレメントに対流・放射熱伝達の複合熱伝達を利用します。ロード/アンロードゾーンは、ローカルモードで動作させることも、SMEMA接続により他のプロセス機器と接続し、フロープロセスに統合することも可能です。このシステムは、窒素やフォーミングガスのようなカバーガスを使用して運転することができます。各冷却・加熱ゾーンには独立した温度制御があり、リフローやキュアプロセスで複雑な温度プロファイルを使用することができます。

Sikama UP1200は、マシン前面の操作パネルで「スタンドアローン」で操作することも、MS Windows PCコンピュータで動作するSikama統合制御ソフトウェアで制御することもできます。コンピュータは、RS232インターフェースケーブルでUP1200に接続します。

UP1200は、ウォーキングビーム搬送システム、または反りのあるウェーハや重い部品に対応するLIFTシステムのいずれかを使用します。どちらの搬送システムも、摩擦や振動なしに、ワークピースをオーブン内のゾーンからゾーンへ移動させます。各システムは、ワークを下部の接触加熱ゾーンの上に持ち上げ、次のゾーンに運びます。ワークを引きずったり押したりしないので、擦り傷やひっかき傷によるダメージの可能性が低くなります。

こちらをご覧ください UP 1200のデータシートはこちらからダウンロードできます。

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