Jabil | Anaheim, Kalifornien
"Anbieter von Standard- und kundenspezifischen automatisierten Wafer-Handling-Lösungen für Hersteller von Halbleiterwerkzeugen und Endverbraucher."

Ein wichtiger Kunde wandte sich an Sikama International und Jabil mit dem Wunsch nach einer vollautomatischen Be- und Entladelösung für das Waferbeschichtungs-, Reflow- und Waschsystem von Sikama International. Der Kunde benötigte die Möglichkeit, Bauteile von zwei Falcon ICS412 Coatern in einen UP1200 Reflow-Ofen zu laden und auf zwei Falcon ICS412 Washern zu entladen, um den Durchsatz zu erhöhen und gleichzeitig die Stellfläche klein zu halten. Zu den Anforderungen bei der Verarbeitung von Bauteilen gehörte die äußerst zuverlässige Handhabung von 300-mm-Wafern mit einer Dicke von bis zu 2 mm und einer Verwölbung von bis zu +/-2 mm. Darüber hinaus musste das System autonom arbeiten, Lose kaskadieren, um den Durchsatz zu erhöhen, und die Ausrüstungsdaten an das MES (Manufacturing Execution Systems) des Werks melden, indem es nur eine Verbindung zu dem gesamten 5-teiligen Werkzeugsatz verwendet.

Sikama arbeitete eng mit Jabil zusammen, um eine schlüsselfertige Lösung zu entwickeln. Ein Jabil WaferMate 300 EFEM wurde eingesetzt, um die Komponenten von den beiden Beschichtungsanlagen an den UP1200 Reflow-Ofen zu übergeben und das reflowte Produkt an eine der Waschanlagen von Sikama zu liefern.

Der Jabil EFEM-Roboter und der Vakuum-Endeffektor entluden die Wafer automatisch von den beiden FOUP-Ladeports zu den Sikama Coatern. RFID-Lesegeräte und Aligner mit OCR sorgten während des gesamten Prozesses für die Verfolgung der Wafer-Lose und Wafer-IDs. Förderbänder sorgten für einen nahtlosen Übergang der Wafer zwischen EFEMs und Reflow-Ofen. Die Prozessdaten wurden über einen einzigen Kanal geliefert, der mit dem MES des Kunden verbunden war und eine wertvolle SPC ermöglichte.

Das Ergebnis ist ein System mit hohem Durchsatz und vollautomatischer Wafer-Verarbeitung durch Flux-Beschichtung, Reflow und Waschprozess. Darüber hinaus bieten Sikama und Jabil weiterhin Unterstützung vor Ort, um die Betriebszeit der Anlagen zu maximieren.