Jabil | Anaheim, Californie
"Fournisseur de solutions standard et personnalisées de manutention automatisée des plaquettes de silicium aux fabricants d'outils pour semi-conducteurs et aux utilisateurs finaux.

Un client important a contacté Sikama International et Jabil pour obtenir une solution de chargement et de déchargement entièrement automatisée pour le système d'enrobage, de refusion et de lavage de plaquettes de Sikama International. Le client avait besoin de pouvoir charger les composants de deux enrobeuses Falcon ICS412 dans un four de refusion UP1200 et de les décharger dans deux laveurs Falcon ICS412 afin d'augmenter leur débit tout en conservant un faible encombrement. Les exigences en matière de traitement des composants comprenaient la manipulation ultra fiable de plaquettes de 300 mm d'une épaisseur allant jusqu'à 2 mm avec un gauchissement/une courbure allant jusqu'à +/-2 mm. En outre, le système devait fonctionner de manière autonome, cascader les lots pour augmenter le débit et communiquer les mesures de l'équipement au système MES (Manufacturing Execution Systems) de l'usine en utilisant une seule connexion à l'ensemble de l'outillage de 5 pièces.

Sikama a travaillé en étroite collaboration avec Jabil pour créer une solution clé en main. Un Jabil WaferMate 300 EFEM a été utilisé pour transférer les composants de l'une ou l'autre coucheuse au four de refusion UP1200 et pour livrer le produit refondu à l'un ou l'autre des systèmes de lavage de Sikama.

Le robot EFEM de Jabil et l'effecteur à vide ont automatiquement déchargé les gaufrettes des deux ports de chargement FOUP vers les enrobeuses Sikama. Des lecteurs RFID et des aligneurs avec OCR ont permis de suivre les lots et les identifiants des gaufres tout au long du processus. Des convoyeurs ont assuré une transition transparente des gaufrettes entre les EFEM et le four de refusion. Les données du processus ont été transmises par un canal unique connecté au système MES du client, ce qui a permis d'obtenir un SPC précieux.

Le résultat est un système à haut débit avec des capacités de traitement des plaquettes entièrement automatisées par le biais du revêtement par flux, de la refusion et du processus de lavage. En outre, Sikama et Jabil continuent de fournir une assistance locale afin de garantir un temps de fonctionnement maximal de l'équipement.