シカマは、対流・放射加熱と組み合わせた伝導加熱の利点を生かしつつ、反りのあるウェーハを容易に扱うことができる独自の搬送システムを提供しています。LIFT搬送システムは、ビームを利用してウェーハを持ち上げ、最小限の振動でゾーンからゾーンへ搬送するシステムです。各ゾーンに入ると、ウェーハは伝導加熱または冷却プラテンに静かにセットされ、効率的な熱伝達が行われます。
こちらをご覧ください をYouTubeで視聴することができます。
シカマは、対流・放射加熱と組み合わせた伝導加熱の利点を生かしつつ、反りのあるウェーハを容易に扱うことができる独自の搬送システムを提供しています。LIFT搬送システムは、ビームを利用してウェーハを持ち上げ、最小限の振動でゾーンからゾーンへ搬送するシステムです。各ゾーンに入ると、ウェーハは伝導加熱または冷却プラテンに静かにセットされ、効率的な熱伝達が行われます。
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