SikamaのEA1200オーブンは、ウェーハバンピングアプリケーション用の安全な次世代のフラックスレスリフローはんだ付けソリューションです。Air Products™社との提携により開発された革新的なエレクトロン・アタッチメント技術を採用したEA1200は、真に残渣のないフラックスレスはんだ付けを提供する比類のない性能を備えています。

N2カバーガスと5%以下の水素を含むH2/N2ブレンドで運転されるため、安全な運転が可能です。

カスタマイズ可能なプロファイリングを提供するために、オーブンは8つの作業ゾーン(6つの加熱ゾーンと2つの冷却ゾーン)を備えています。 また、外部ロード/アンロードゾーンもあり、ローカルモードで動作させることも、SMEMAまたはSECS/GEM接続を使用して他のプロセス機械に接続し、フロープロセスに統合することもできます。 加熱ゾーンと冷却ゾーンは、下部のエレメントにはシカマ接触熱伝達を、上部のエレメントには対流と放射熱伝達を組み合わせた方式を採用しています。 各冷却・加熱ゾーンは独立して温度制御され、フラックスレスリフロープロセスで使用される複雑な温度プロファイルを可能にします。

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