シカマ・ソリューションズVisIC ファルコン 5C

ビジック・テクノロジーズ、米国｜アリゾナ州フェニックス

"電気自動車向け窒化ガリウム（GaN）パワー半導体ソリューションを提供する業界リーダー"

車載用GaN半導体製品のリーダーであるVisIC Technologies社は、アリゾナ州フェニックスにある試作ラボ用の手頃な価格の雰囲気制御オーブンを探していました。パワーモジュールの開発ではさまざまなダイアタッチプロセスが検討されているため、従来のはんだ、過渡液相焼結（TLPS）、一部の銀焼結合金など、さまざまな材料をサポートするソリューションを見つけることが課題でした。さらに、酸素含有量を100ppm以下に調整でき、各ゾーンの温度を150℃～400℃の間で安定的に制御できる密閉型ベルトオーブンが必要でした。

フェニックス・ラボとの互換性を確保し、予算内に収めるためには、必要な装置はかなり小さな設置面積で、利用可能な電力を使用する必要があります。さらに、窒素供給要件とモニタリングは「ベンチトップ」規模である必要がありました。

VisiC Technologies社はSikama社に、雰囲気制御が可能で、少なくとも4つのゾーンがあり、完全にプログラム可能で、現在のスペースと利用可能な電力にシームレスに統合できる多用途の卓上ベルトオーブンを要望しました。ソリューションは、すべての要件を満たすファルコン5Cオーブンでした。

ファルコン5Cの導入により、VisIC Technologiesはモジュールのプロトタイピングを大幅に加速することができ、その結果、R&Dパッケージングチームは新しいGaNパワーモジュールの複数の設計およびアセンブリオプションを評価することができました。パッケージング担当副社長のMemo Romeroは、次のように説明しています。"私たちは、数週間でエンジニアリングサンプルを作成することができ、同時に実際の材料と生産で実装する予定のプロセスパラメータを検証することができました。