技術紹介


シカマは技術第一をモットーに、エンジニアリングと製品開発という強力な基盤のもと、市場で最も高性能で堅牢なマシンを生み出しています。

より多くのサポート、より少ないコスト

南カリフォルニアを拠点に垂直統合された生産体制により、シカマは最高レベルのカスタマーサポートと製品の柔軟性を提供し、同時にコストを可能な限り抑え、お客様に最高の価値を提供します。


より多くのサービス、より少ない不確実性

シカマのオンサイトラボでは、お客様のために無料のオンサイトテストと計測を提供しています。部品をお送りいただいても、工場を訪問していただいても、私たちの装置がお客様のアプリケーションに最適であることを確認します。


より多くの統合、より少ない監視

Sikamaの製品はSECS/GEMおよびSMEMAと完全な互換性があり、お客様のオートメーションのニーズが何であれ、当社の製品が最大限のオートメーション機能を提供することを確信しています。

より効率的に、より短時間で

シカマ独自の伝導+対流+輻射加熱により、業界をリードする加熱・冷却効率を実現します。直接接触型の熱伝導により、高質量、高さ、ユニークな形状など、最も要求の厳しい基板の加熱・冷却を効率的に行うことができます。


より多くのコンフィギュレーション、より少ないフロアスペース

Sikamaのリフローとシャトルシステムは、ゾーンごとの加熱と冷却を利用し、製品の滞留時間を設定できるため、あらゆる製造スペースに対応できるよう、床面積を考慮して設計されています。


より高いスループット、より少ない設備要件

シカマの伝導加熱と低容量の不活性環境チャンバーは、ゾーンごとの滞留時間を組み合わせることで、電気やガスの必要量を競合他社よりはるかに少なくしながら、業界最高レベルの<10ppm O2レベルと+/-2℃の温度制御を実現しています。

シカマインターナショナルでは、2500倍までの計測が可能なため、リフロー炉がどのようにウェハーを加工しているかを3D画像で詳細に分析することができます。