シカマ・ソリューションズジャビル

ジャビル | カリフォルニア州アナハイム
"半導体ツールメーカーとエンドユーザーへの標準およびカスタム自動ウェハーハンドリングソリューションのプロバイダー"

ある重要なお客様が、Sikama InternationalとJabilに、Sikama Internationalのウェハーコーティング、リフロー、洗浄システム用の完全自動化されたローディングとアンローディングのソリューションを求めていました。このお客様は、2台のファルコンICS412コーターからUP1200リフローオーブンにコンポーネントをロードし、2台のファルコンICS412ウォッシャーにアンロードする能力を必要としていました。コンポーネント処理の要件には、厚さ2mmまでの300mmウェーハを+/-2mmの反り/反り幅で処理する信頼性の高いハンドリングが含まれていました。さらに、システムは自律的に動作し、スループットを向上させるためにロットをカスケードし、5つのツールセット全体への接続を1つだけ使用することで、設備のMES（製造実行システム）に装置メトリクスをレポートする必要がありました。

Sikama 社は Jabil 社と緊密に協力し、ターンキー・ソリューションを構築しました。Jabil WaferMate 300 EFEMを使用して、どちらかのコーターからUP1200リフローオーブンへ部品を引き渡し、リフローされた製品をSikamaのどちらかの洗浄システムへ送りました。

Jabil EFEMロボットとバキュームエンドエフェクタは、2つのFOUPロードポートからSikama Coatersへウェーハを自動的にアンロードしました。RFIDリーダーとOCR付きアライナーにより、全工程でロットとウェーハIDのウェーハトラッキングが行われました。コンベアはEFEMとリフロー炉間のウェハーのシームレスな移行を保証しました。プロセスデータは、お客様のMESと接続するシングルチャンネルを通じて配信され、貴重なSPCを提供しました。

その結果、フラックス塗布、リフロー、洗浄工程まで完全自動化されたウェハ処理能力を持つ高スループットシステムが完成しました。さらに、SikamaとJabilは、装置の稼働時間を最大化できるよう、現地でのサポートを継続的に提供しています。