ファルコンICS412インラインフラックスコーティング/ウェーハ洗浄システムは、4インチから12インチ(300mm)までのウェーハに対して最大4種類のプロセス液(標準2種類:フラックス、ボウルウォッシュなど)をディスペンスすることが可能です。6インチから12インチまでのウェーハサイズを変更する際に、ツールの交換は必要ありません。レシピのステップ数は無制限で、ディスペンスの開始、終了、掃引、高さを含むすべてのプロセスパラメータは完全にプログラム可能です。サーボドライブスピンチャックは、1~2000RPMの速度でプログラム可能です。スピンチャックの真空システムには、真空システムの汚染を防ぐための液体トラップリザーバーが含まれています。完全サーボ駆動制御のインラインベルト搬送は、調整、ロボットのティーチング、センサーの調整などが不要です。ソフトウェアの診断モードにより、全ての入力、出力、サーボモーター、エンコーダーを視覚的にメンテナンスすることができます。エンジニアリングモードでは、直接、リアルタイムでプロセスの変更が可能です。パスワード保護機能により、複数レベルのオペレータが使用できます。

システム設備に必要なものは、電気、真空、N2、水です。洗浄機の構成は、大容量の真空排気が必要です。オプションとして、ウェハー洗浄機能、最大4液(標準は2液)の処理能力などがあります。

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